Sök:

Aktiv Vibrations Isolering av en Laserritare inom Mikrolitografi

Active Vibration Control of a Laser PatternGenerator in Microlithography

Författare

Patrik Brattström

Lärosäte och institution

KTH/Maskinkonstruktion (Inst.)

Nivå:

"Masteruppsats". Självständigt arbete (examensarbete) om 30 högskolepoäng (med vissa undantag) utfört för att erhålla masterexamen.

Läs mer..