Sökresultat:
1 Uppsatser om HIPIMS - Sida 1 av 1
Reaktiv HIPIMS-beläggning av TiN på vändskär av WC/Co
Binära och ternära övergångsmetallnitrider har blivit väldigt populära för verktygsbeläggningsapplikationer. Hög effekt pulsad magnetronsputtering, HIPIMS, är en ny lovande joniserad PVD metod som använts för magnetron sputtering för att deponera stökiometrisk TiN på WC/Co-substrat. Resultatet har jämförts med konventionell DC-magnetronsputtering (DCms) och DCms och HIPIMS kombinerat. Syftet med den här studien är uppnå täta och jämna TiN-filmer. Beläggningssystemet som använts i detta projekt består av en högvakuumkammare utrustad med en standar plan magnetron med en 150 mm Ti-target.